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非接触変位計・厚さ計について 概要
変位、振動、厚さ等の物理量を非接触のプローブにより検出し、それを電気量に変換して、もとの物理量を正確に知る測定器を、非接触式変位計、厚さ計と呼んでいます。検出はプローブに組み込まれたセンサによって行われますが、測定方式により静電容量方式、レーザ方式等があります。方式によりそれぞれ特長があり、用途に応じて使い分けられます。いずれも非接触方式で検出を行いますので、被測定物に影響を与えることなく確度の高い測定値を得ることができます。近年、ナノメートルの位置検出、姿勢制御、平面度、厚み測定、精密モータ、ハードディスク、各種ディスクなど幅広い用途で広く使用されております。
微小変位測定のご相談承ります。 変位測定を始めて約半世紀。仕様変更やプローブのカスタム対応も、豊富なノウハウでお応えします
静電容量方式変位計について
静電容量方式の原理と特長
プローブと被測定物の間にできる静電容量を利用して測定します。プローブと被測定物の距離Dが変化すると容量が変化しますので、これを電圧に変換して出力します。静電容量方式はさらに二種類の方式に分類出来ます。
＜アクティブ型＞ 高速応答モデル
プローブ内に回路があります。高速応答で極細径のプローブが可能です。
＜パッシブ型＞ 高安定モデル
プローブ内に回路はありません。安定性と直線性に優れます。
プローブのガードリングと測定対象の大きさ
プローブの測定電極と接地電極（測定対象）の間の電気力線が均一になるように電極の周囲に同電位を加えて電極の端効果を除いています。これをガードリングと言います。測定電極から出る有効電気力線は均一な電界部分のみとなるので、距離に比例した容量変化が得られ、直線性の優れた測定が可能になります。
＜測定に必要な測定対象の大きさ＞ 高安定モデル
ガードリングが十分な効果を発揮するには測定対象は測定電極より十分大きい必要があります。
レーザドップラ振動計 ラインナップ （製造元:電子技研工業株式会社）
| 型名 | 型名 | 測定周波数範囲 | 速度測定範囲 |
|---|---|---|---|
 レーザドップラ振動計 |
V100-LM | 0.5Hz～300kHz | 3μm/s～10m/s |
| V100-MS | 0.05μm/s～1m/s | ||
| V100-S | 0.05μm/s～0.1m/s | ||
 オートフォーカスレーザドップラ振動計 |
AFV100-LM | 3μm/s～10m/s | |
| AFV100-MS | 0.05μm/s～1m/s | ||
| AFV100-S | 0.05μm/s～0.1m/s | ||
 顕微鏡型レーザドップラ振動計 |
KV100-LM | 3μm/s～10m/s | |
| KV100-MS | 0.05μm/s～1m/s | ||
| KV100-S | 0.05μm/s～0.1m/s |
販売終了製品情報
後継機種については、お問い合わせください。
- ヘテロダイン方式レーザ 変位計：ST-3761
- 光ファイバ方式 変位計：ST-3711、ST-3713
- レーザ方式 変位計：ST-3706、ST-3706A、ST-3707、ST-3708、ST-3721
- レーザ光二重反射方式厚さ計：ST-3707T、ST-3708T（透明体）
- レーザ方式 厚さ計：ST-3706W、ST-3706AW、ST-3707W、ST-3708W（非透明体）
- レーザ方式非接触外径測定器：ST-3751C、ST-3752C、ST-3753C、ST-3754C、ST-3755C
- 静電容量方式 厚さ計：ST-3523、ST-3525、ST-3525D
- 静電容量方式 変位計：ST-3512、ST-3501、ST-3521、ST-3511、ST-3571、ST-3572
- 静電容量方式インキ含水率計：ST-3808
