[新製品] 半導体カーブトレーサ CS-8000シリーズ
多彩なユニットの組み合わせで、あらゆる工程における特性評価に最適で、次世代の半導体測定に対応します。
- 最大5kV、最大2000Aでのハイパワーテスト
- 正確な微小電流測定 (分解能250fA)
- 大画面12.1インチのタッチスクリーン
- 多彩なGATE信号出力機能
- 充実した温度特性測定オプション
- プローバーでのハイパワーオンウェハテスト
主な仕様
ゲート電圧 ： ±40 V 電圧レンジ ： 0.2 ～ 5 kV 最大測定電流 ： 2 kA 電流測定分解能 ： 250 fA
実測定時のメリット
- SiCやGaNデバイスに対応
- ウエハーや小電力デバイスにも対応
- ハイパワーデバイスにも対応
- 微小電流測定に対応
使いやすいUI
12.1インチTFT-LCD(1,280×800)の高精細・大画面ディスプレイを搭載し、タッチスクリーンによる操作に加え、フロントパネル上のファンクションキー、機能毎に独立したノブで直感的な操作が可能です。
①X-Y表示エリア
任意の電圧/電流パラメータをそれぞれX軸Y軸に設定でき、Vds Id特性、スレッショルド電圧、Vds-Vgs飽和特性等、様々な半導体特性カーブの表示が可能です。またY軸に複数のパラメータを設定できます。スケールはLog/リニアの切り替えが可能です。
②Y-T表示エリア
測定印加波形をオシロスコープのように時間軸で表示します。パルス幅・測定ポイント・発振などの波形異常等をリアルタイムで確認できるので、正確な測定が行えたかの検証を容易に行えます。 全ての印加波形データはX-Y表示のデータと同時に保存できるので、測定結果の再検証を行うことができます。
③測定データ表示エリア
詳細な測定結果と測定条件、ステータスをテキスト形式で表示します。
④コンフィグレーション設定エリア
デバイスの測定コンフィグレーションを設定します。電圧/電流ユニットの選択や配線変更等をグラフィカルな表示でサポートします
⑤パラメータ設定エリア
測定パラメータ・測定リミットの設定やマニュアル/自動測定の切り替えなどをこのエリアで行います。
⑥操作パネル
正面パネルにボタンとロータリーノブが配置されており、マニュアル測定を簡単に行えます。 中央に配置されたテンキーでは、パラメータの数値入力を行うことができます。 DRAIN/COLLECTOR・GATE/BASE・垂直軸・水平軸ロータリーノブによりマニュアル測定を簡単に行うことができます。
用途に合わせた出力ソース
用途に合わせて測定に必要な電圧・電流ユニットを任意に選択できます。
右写真は、
上段：テストフィクスチャ
下段：ハイカレントユニット
HVユニット
2kV、5kVの高電圧ユニットです。DC/パルス波が選択可能です。定電圧・定電流駆動測定の選択ができます。
| メインユニット | CS-8200 | CS-8500 |
|---|---|---|
| 最大電圧 (最大電流) |
2 kV (20 mA) |
5 kV (8 mA) |
| 波形 | DC、パルス | |
| 極性 | 正／負 | |
| 測定電流分解能 | 250 fA | |
MVユニット (全メインユニット共通)
200Vの中電圧ユニットです。定電圧・定電流駆動測定の選択ができます。DC、パルスの他、SIN、半波、全波波形が選択できます。
| 最大電圧 (最大電流) |
200 V (2 A) |
|---|---|
| 波形 | DC(200 mA)、 パルス(2 A)、 SIN、半波、全波 |
| 極性 | 正／負／両極性 |
| 測定電流分解能 | 250 fA |
GATEユニット (全メインユニット共通)
40Vのユニットです。定電圧・定電流駆動測定の選択ができます。DC、パルスの他、SINが選択できます。
| 最大電圧(最大電流) | 40 V (1 A) |
|---|---|
| 波形 | DC、パルス、SIN |
| 極性 | 正／負／両極性 |
| 測定電流分解能 | 250 fA |
HCユニット
大電流モード搭載により、2000Aまでの大電流測定に対応できます。パルス幅、測定周期、測定範囲が可変できます
| HC ユニット |
CS-205 | CS-210 | CS-220 |
|---|---|---|---|
| 最大電流 (電圧) |
500 A (50 V) |
1 kA (50 V) |
2 kA (50 V) |
| 波形 | パルス | ||
| パルス幅 | 10µs～1ms | 10µs～500µs | |
| 極性 | 正／負 | ||
最小電流分解能 250 fA
トライアキシャルの採用と測定系の最適化等により、機器内のリークやノイズを低減したため、微小電流の安定した測定が可能です。
多彩なGATE信号出力
GATE信号をシーケンス出力し、印加することができます。
ホールドタイム可変範囲
0.000[s] ～ 5.000[s]
予備信号電圧範囲
GATE側 -40[V] ～ +40[V]
ヒステリシスの測定
CS-8000シリーズはヒステリシスを持ったSiCやGaNなどのワイドバンドギャップ半導体の測定に便利な機能を備えています。
ダブルスイープ機能はUPスイープ・DOWNスイープを同時表示するためヒステリシスの観測が可能です。
安全機構
インターロック機能に加え、出力リミット機能を備えています。
電圧・電流・電力、それぞれのリミット値を設定でき、DUTの損傷を防ぐことができます。
また、ハードウェアの過電流保護機能により、測定レンジの1.4倍の電流が流れると電流を遮断します。
組み合わせ構成
測定ターゲットの電圧と電流に合わせてHCユニットやフィクスチャを選択できます
メインユニット：CS-8200
HCユニット：CS-220
テスト・フィクスチャ：CS-322 HV/HC
アクセサリケーブル：
HV標準ケーブルセット CS-021
HC標準ケーブルセット CS-022
CS-8000シリーズ 主な仕様
| メインユニット モデル名 | CS-8020 | CS-8200 | CS-8500 | |
|---|---|---|---|---|
| HVユニット | ||||
| 最大ピーク電圧(最大電流) | ― | 2 kV(20 mA) | 5 kV(8 mA) | |
| 測定電圧レンジ(フルスケール) | ― | 2 kV ～ 50 V | 5 kV ～ 50 V | |
| 測定電流レンジ | ― | 20 mA ～ 50 µA | 20 mA ～ 50 µA | |
| 最小測定電流分解能 | ― | 250 fA | 250 fA | |
| 波形 | ― | DC・パルス | DC・パルス | |
| MVユニット | ||||
| 最大ピーク電圧(最大電流) | 200 V(1 A) | |||
| 測定電圧レンジ(フルスケール) | 200 V ～ 200 mV | |||
| 測定電流レンジ | 2 A ～ 5 nA | |||
| 最小測定電流分解能 | 250 fA | |||
| 波形 | DC(200 mA)、 パルス(2 A)、 SIN、半波、全波 | |||
| GATEユニット | ||||
| 最大ピーク電圧(最大電流) | 40 V(1 A) | |||
| 測定電圧レンジ(フルスケール) | 50 V ～ 1 V | |||
| 測定電流レンジ | 1 A ～ 5 nA | |||
| 最小測定電流分解能 | 250 fA | |||
| 波形 | DC・パルス・SIN(50 Hz) | |||
| 標準付属品 | 電源ケーブル、コントロールインタフェース終端器、取扱説明書(冊子＋CD) | |||
| HCユニット モデル名 | CS-205 | CS-210 | CS-220 |
|---|---|---|---|
| 最大ピーク電流(最大電圧) | 500 A(50 V) | 1,000 A(50 V) | 2,000 A(50 V) |
| 測定電圧レンジ(フルスケール) | 50 V ～ 200 mV | 50 V ～ 200 mV | 50 V ～ 200 mV |
| 測定電流レンジ | 500 A ～ 5 A | 1,000 A ～ 5 A | 2,000 A ～ 5 A |
| 波形 | パルス (幅10 µs ～ 1 ms) |
パルス (幅10 µs ～ 500 µs) |
パルス (幅10 µs～ 500 µs) |
| 標準付属品 | 電源ケーブル、HC-FIXTURE接続ユニット、取扱説明書 | ||
- HCユニットをご使用の場合は、別途センスケーブルが必要となります。
| テスト・フィクスチャ モデル名 | CS-320MV(近日発売予定) | CS-322HV/HC |
|---|---|---|
| 標準付属品 | 電源ケーブル、標準リードセット(CS-005 1式7本組)、取扱説明書 | |
| ― | HV／HCケーブル (2本) | |
- テスト・フィクスチャを接続する場合は、別途ケーブルが必要となります。
ケーブル (テスト・フィクスチャやHCユニットへの接続時に使用します)
| 型式 | 品名 |
|---|---|
| CS-025 | HVケーブル(L=1.0m) |
| CS-026 | トライアキシャルケーブル (L=1.0m) |
| CS-027 | コントロールインタフェースケーブル (L=1.0m) |
| CS-028 | インターロック／センスケーブル (L=1.0m) |
ケーブルセット (必要なケーブルをまとめたセットです)
| ケーブルセット名 | 内容 |
|---|---|
CS-020 MV標準ケーブルセット (CS-320用推奨セット) |
CS-026 (トライアキシャルケーブル L=1.0m)×7本 |
| CS-027 (コントロールインタフェースケーブル L=1.0m)×1本 | |
| CS-028 (インターロック／センスケーブル L=1.0m)×1本 | |
CS-021 HV標準ケーブルセット (CS-322用推奨セット) |
CS-025 (HVケーブル L=1.0m)×2本 |
| CS-026 (トライアキシャルケーブル L=1.0m)×7本 | |
| CS-027 (コントロールインタフェースケーブル L=1.0m)×1本 | |
| CS-028 (インターロック／センスケーブル L=1.0m)×1本 | |
CS-022 HC標準ケーブルセット (HCユニット用推奨セット) |
CS-027 (コントロールインタフェースケーブル L=1.0m)×1本 |
| CS-028 (インターロック／センスケーブル L=1.0m)×1本 |
