高電圧CV測定システム CS-600Aシリーズ
高電圧C-V 測定システム : CS-605A（5kV） / CS-603A（3kV）SiC, GaN などのパワー半導体デバイスの容量測定に最適
- 5kV（CS-605A）あるいは3kV（CS-603A）までの容量測定を自動化（Sweep機能付き）
- 様々なデバイスのパッケージに対応した、カーブトレーサ用アダプタがそのまま使用可能
- ウェハーやチップ上での容量測定のために、プローブステーションとのシステム化に対応
- 高電圧用コンデンサなどの容量測定も可能
※LCRメータは別途必要になります。
CV Measurement Tool (PC ソフト) による測定例
【測定例1】 2.5kV までのスィープ測定
【測定例2】70V までの高分解能測定
測定ブロック図
仕様
| 項 目 | CS-605A | CS-603A |
|---|---|---|
| DC バイアス | 0-5kV / 0-50V | 0-3kV / 0-50V |
| 設定分解能 | 100mV / 1mV | |
| 測定範囲 | 10kHz 100pF～10nF ±5％(±50pF） 100kHz 10pF～1nF ±5％(±2pF） Cgd:Cds:Cgs=1:1:1，Cgd:Cds:Cgs=1:10:100の時 |
|
| 周波数範囲 | 10kHz-100kHz | |
| LCRメータの 測定信号レベルの範囲 |
100mV～1V | |
| 測定パラメータ | Cies, Ciss（入力容量）、Coes, Coss（出力容量）、Cres , Crss（逆伝達容量）、 CT（端子間容量）、Cgs,Cge/Cgd,Ccg/Cds,Cce（計算値）、Rg（ゲート抵抗） |
|
| 測定モード | C-V: 容量 vs バイアス電圧、C-G: 容量 vs ゲート電圧、 C-Time: 容量 vs 時間 | |
| ゲートバイアス | +/-25V at 1mV/step | |
| 掃引タイプ | リニア/ ログ/ リスト/ シングル | |
| 掃引方向 | UP Sweep | |
| 測定ポイント | 5000 ポイント | |
| その他 | 波形比較、REF 表示、インターロック機能付、外部インターロック（オプション） | |
| 外形寸法 / 質量 | 約330W×370D×230H（mm）※突起部を除く / 約8.5kg | |
| 動作温度範囲 | 0 ℃ ～ +40 ℃ | |
| 性能保証温度範囲 | 23℃±5 ℃ | |
| 動作湿度範囲 | 0 ～ +40 ℃、5 % ～ 80 % RH （30℃、結露なきこと） 上限値 55 % RH （40℃、結露なきこと） |
|
| 電源入力範囲 | AC 100-240 V 50/60Hz | |
| 消費電力 | 35VA | |
