応用分野
シリコンウエハの測定（太陽電池用、8 inch ウエハ、12 inch ウエハなど）
- 太陽電池の厚さ選別（100μｍ、200μｍの厚さを手動測定台によって選別）
- シリコンウエハの厚さ選別（400μ、500μｍ、600μｍの厚さを自動機によって選別）
- 研磨量の測定（研磨工程前後の厚さを測定）
金属の測定（銅板、ステンレス板、アルミ板 など）
- 銅板製造機の走行している銅板の厚さ測定（200μｍの厚さの銅板を走行中に測定）
- 自動車用部品の厚さ測定（30mm の厚さのブレーキパット用円板を手動回転させて厚さ測定）
- ハードディスク用アルミ板の厚さ測定
両面を金属で覆われた積層板の測定
- 両面を銅薄で覆われたプリント基板の測定
性能
| 項目 | 性能 | ||||||||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| システム構成 | ST-3541（2 台）、ST-0403-xxx（2 本）、ST-3540（1 台）、VOAC7521A（1 台） | ||||||||||||||||||||
| 測定方式 | 静電容量方式 | ||||||||||||||||||||
| 被測定物 | シリコンウェハ、金属、半導体 | ||||||||||||||||||||
| 厚さ計測範囲 | 1μｍ～ 99.9999ｍｍ （基準材料± センサ測定範囲） ※( 例) ST-0403-500 プローブ使用: 基準500μm の場合、500±200μm になります。 |
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| センサ部基本性能 （ST-3540） （ST-0403-xxx）
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| 表示部性能 （VOAC7521A） |
表示（測定結果はスケーリング演算後VOAC7521A に表示されます）
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| 単位 | [μｍ] は、μで表示。 [ｍｍ] は、ｍで表示。 | ||||||||||||||||||||
| 表示周期 | 約4 回／秒 （約20 回／秒に切り換え可能） | ||||||||||||||||||||
| 機能 | スケーリング演算、相対値演算、コンパレータ演算、統計演算(MAX、MIN）、平均 | ||||||||||||||||||||
| 外部インターフェース | 標準：RS-232C オプション：GP-IB、イーサネット、デジタルI/O、RS-USB 変換 | ||||||||||||||||||||
| 電源 | AC100V （ST-3540、VOAC7521A） オプション：（AC110V、220V、240V） | ||||||||||||||||||||
| 周波数 | 50/60Hz | ||||||||||||||||||||
| 消費電力 | 最大30VA （ST-3540)、 最大21VA （VOAC7521A) | ||||||||||||||||||||
| 使用温湿度範囲 | 0℃～ 40℃ 80%RH 以下 （ST-3541、ST-3540、VOAC7521A） | ||||||||||||||||||||
| 大きさ・質量 |
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プローブ外形寸法図（ST-0403 共通）
