顕微鏡型レーザドップラ振動計 KV100シリーズ（製造元：電子技研工業株式会社）
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レーザドップラ振動計とは、センサヘッドからレーザ光を振動物体に照射し、振動物体から反射されたレーザ光（ドップラシフトしたレーザ光）の周波数変化（速度変化）を電圧に変換（F/V変換）して振動現象を検出する非接触型の振動速度センサです。 信号処理回路により速度信号を変位信号や加速度信号へ変換し、出力することもできます。
マイクロマシン、ＭＥＭＳ、カンチレバーなど、微小物体の振動測定に最適です。
KV100シリーズ コントロールユニット 主な仕様
| 型名 | KV100-LM | KV100-MS | KV100-S |
|---|---|---|---|
| 測定周波数範囲 | 0.5Hz～300kHz | ||
| 速度測定範囲 | 3μm/s～10m/s | 0.05μm/s～1m/s | 0.05μm/s～0.1m/s |
| 速度レンジ | 2m/s/V 0.2m/s/V |
0.2m/s/V※ 0.02m/s/V |
0.02m/s/V |
| 速度出力 | 電圧 ±5V VELOCITY端子(BNC) | ||
| 測定精度 ±2%以内 | |||
| ローパスフィルタ | 3kHz, 30kHz, 300kHz | ||
| ハイパスフィルタ | 0.5Hz, 30Hz, 300Hz | ||
| インジケータ | 10エレメントLED （SIGNAL LEVEL 表示） | ||
| モニタ出力 | SIGNAL LEVEL 0～+5V | ||
| 映像出力 | BNC端子より出力 NTSC方式 | ||
| 変位モジュール （オプション） |
S1端子より出力 |
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| 変位・加速度モジュール （オプション） |
S1端子より出力 |
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加速度： （要お打ち合わせ） |
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| SHUTTER ON/OFF | ON：端子短絡（レーザ光出射）、OFF：端子開放（レーザ光閉） | ||
| 外形寸法 | 約115(W)×111(H)×281(D)mm （突起物含まず） | ||
| 重量 | 約3.8kg | ||
※ 測定周波数範囲 0.5Hz～50kHz
KV100シリーズ センサユニット 主な仕様
| 方式 | 光ヘテロダイン法 | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| レーザ光源 | He-Neレーザ（波長 632.8nm） | ||||||||||
| 射出光出力 | 1mW 以下 | ||||||||||
| レーザ安全基準 | クラス2 JIS C6802規格適合 | ||||||||||
| 測定距離(WD) 集光ﾚﾝｽﾞ取付面より | 垂直、水平方向とも約34mm （5×倍対物レンズ使用時） |
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| フォ－カス・サーチ時間 | 約1秒（NARROモード時） | ||||||||||
| ビーム径 | 5×倍対物レンズ使用 φ8μm 10×倍対物レンズ使用 φ4μm |
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| 照明装置 | 同軸落射照明付き | ||||||||||
| CCD撮像素子 | 1/4インチ型38万画素カラーCCD | ||||||||||
| 視野 | 約0.98mm×1.3mm （5×倍対物レンズ使用時） | ||||||||||
| 映像信号 | NTSC方式 | ||||||||||
| インジケータ | 10エレメントLED （SIGNAL LEVEL 表示） | ||||||||||
| 対物レンズ | 5×倍、10×倍、20×倍、50×倍 （オプション選択） | ||||||||||
| 外形寸法 | 
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