半導体パラメータ測定ソフトウェア CS-810

従来、多々ある項目ごとに手作業にて設定しながら多くの時間をかけ測定していましたが、《半導体パラメータ測定ソフトウェア CS-810》採用することで、簡単に測定を自動化することができ、さらに測定内容もエビデンスとして保存できます。また、あらかじめしきい値を設定しておくことで自動判定も可能となります。

導入メリット

• 測定手順通り、もれなく確実に測定
• 測定内容もエビデンスとして保存
• 自動判定も可能
• オプション製品のコントロールも自動化可能（例えば、ホットプレートによる温度コントロール）

実際に比較してみました（当社比）

同じ試料を使用し自動測定（半導体パラメータ測定ソフトウェアCS-810）時と、従来の手動測定を比べてみました。

• 手動測定の時間に関しては、かなり熟知した方が操作をしている想定となっております。

動画をご覧いただけない方は、 こちらより資料をダウンロードいただき 記載のQRコードでスマートホンでもご覧いただけます。

「半導体パラメータ測定ソフトウェア CS-810」を使用し測定を自動化した場合の動画

手作業にて設定しながら多くの時間をかけ測定場合の動画（時間がかかるため2倍速再生にしています）

さらに「配線変更作業」も含め自動化できます。スキャナーシステムCS-700 詳しくはこちら

PCにインストールするソフトウェアオプションで、イーサネットを介してカーブトレーサやスキャナ、ホットプレートなどを制御します。
簡単な設定で、今まで手動でしか測定できなかったカーブトレーサでの測定を自動化でき、作業効率が向上します。

プログラミングの知識は不要

手動で測定したカーブトレーサの設定をPCに読み込む事によって、シーケンスを設定しますので、プログラミング等の知識は不要で、どなたでも簡単に設定できます。

自動測定（リーク電流、サチュレーション電圧、VF,Vthなど）

測定結果ウィンドウ

波形比較機能

開発時のバラツキや不良解析など測定後に保存した多数の波形を比較できます。また波形の比較で良否判定も出来ます。

波形比較と判定

リファレンスデータに対する比較で良否判定ができます。

波形表示

過去に取得したCSVファイルやカーブトレーサのリコール波形、現在取得した波形を同一グラフ上に最大10波形同時に表示して比較することが出来ます。

リスケーリング機能

表示されている波形の電圧軸を任意の間隔でCSVファイルに保存します。測定結果を表にする場合に電圧軸を揃えることが出来ます。

カーソル機能

表示されている波形の値が一覧で表示されます。 また、サンプリングポイント以外でも補間して値を表示します。

コメント表示

各波形にコメントの表示、編集、移動が出来ます。

グラフの画像保存

グラフ、ファイルリスト、カーソル値を任意に組み合わせて、画像ファイルに保存できます。
（画像フォーマット：PNG/BMP/JPG/TIFF）

多彩なグラフ表示

グラフタイトル、プロットエリアの背景色、カーソル色、Line Dot（直線のみ、ドットのみ、直線とドット） X軸、Y軸：軸タイトル、データ選択（Ic/Vce/Vbe）、スケール（Log/Linear）（Y軸のみ）、目盛間隔（Auto,1-2-5Step）、目盛の最小値、最大値、グリッド（表示色、非表示）

伝達特性の自動測定機能

伝達特性をカーブトレーサで自動測定できます。

特性カーブのファイル保存

測定した特性をCSVファイルに保存、グラフを画像データとしてファイルに保存
※画像フォーマット：PNG/BMP/JPG/TIFF

カーソル機能

X軸、Y軸にカーソルを表示します。測定データ間を補間して値を表示します。

グラフエリアのカスタマイズ

グラフのタイトル、軸ラベル、背景色、軸レンジ等のカスタマイズが出来ます。

設定の保存/読出し

特性測定の設定内容、グラフエリアのカスタマイズ設定内容をファイルへ保存と呼出ができます。

デバイスの試験

サンプル名を入力してテスト･フィクスチャにセット

測定実行中は測定値と判定結果を表示

判定結果により一時停止と作業指示をPOPUP

測定項目により一時停止と作業指示をポップアップ

測定終了後はLOGファイルをCSVやエクセル形式にエクスポートできます。
測定時には波形画像やデータを自動保存します。
ストレス試験のログは別ファイルに保存します。
ログ表示画面から測定結果を選択して再測定も可能です。

モジュールの測定

スキャナ・システムをカーブトレーサと同時にコントロールします。
各素子ゲートのオープン/ショートやHV/HC切換も制御でき、バスバーを外す事無く1モジュールの全自動測定を実現します。

CS-810の設定は1素子を設定後、素子の数コピーすることによって簡単に作成することが出来ます。

• 測定していない素子のゲートはエミッタとショートすることが出来ます(CS-707)

特性カーブのファイル保存

測定した特性をCSVファイルに保存、グラフを画像データとしてファイルに保存
※画像フォーマット：PNG/BMP/JPG/TIFF

カーソル機能

X軸、Y軸にカーソルを表示します。測定データ間を補間して値を表示します。

グラフエリアのカスタマイズ

グラフのタイトル、軸ラベル、背景色、軸レンジ等のカスタマイズが出来ます。

設定の保存/読出し

特性測定の設定内容、グラフエリアのカスタマイズ設定内容をファイルへ保存と呼出ができます。

半導体の温度特性評価

CS-810はホットプレートも同時に制御します。
時間の掛かる温度ごとのパラメータの測定についても、全自動で行えます。

ストレス試験

各種パラメータをストレス試験に組み込める

• 長時間の信頼性試験が可能。
• 電流･電圧は常にカーブトレーサ側で自動監視しながら、電流と電圧の変化をロギングします。
• ストレス試験の途中や前後で各種パラメータの自動測定が出来ます。
• 電流または電圧ともに下限値、上限値を設定し限界値を超えると印加を停止します。

一定の電圧または電流を保持（10秒～1,000時間)
IcおよびVceを測定（インターバル:10秒～2時間）

ディスクリートデバイスの試験

接続してワンクリックで複数個のデバイスを測定

同じ素子を順々に測定することが出来ます。 スキャナシステムCS-700シリーズは10CHあります。 時間の掛かる温度特性など、10素子を全自動で測定します。 制御ソフトウェアCS-810の設定も、1素子をコピーすると完成です。

※CS-700シリーズは10システムまで並列運転可能です

ウエハー測定への対応

プローバーシステムと結合することによってウエハー上のデバイスを測定
プローバーケーブル CS-306/308
プローバーとカーブトレーサとの接続用ケーブル（インターロック用端子装備）